Scanning Electron Microscopy (SEM)

SCANNING ELECTRON MICROSCOPY (SEM)

A. Seja Sejara rah h SEM SEM

SEM pertama kali diperkenalkan di Jerman (1935) oleh M. Knoll.Konsep standar dari SEM modern dibangun oleh von rdenne pada tahun 193! "ang ditambahkan s#an kumparan ke mikroskop elektron transmisi.$esain SEM dimodi%ikasi oleh &'or"kinpada tahun 19 ketika beker*a untuk +, -aboratories di merika Serikat.$esain kembali direka"asa oleh , pada tahun 19! seorang pro%esor di /niversitas ,ambridge.Se*ak itu0 itu0se sema maki kin n

ban"a ban"ak k

berm bermun un#ul #ulan an

kontr kontrib ibus usii

sign signi% i%ik ikan an

"ang "ang

meng mengop opti tima malk lkan an

 perkembangan modern mikroskop elektron.

B. Pengert Pengertian ian SEM(Scan SEM(Scanning ning Electron Electron Microco Microco!") !")

SEM adalah adalah salah salah satu satu *enis *enis mikros mikroskop kop elektr elektron on "ang menggu menggunaka nakan n berkas berkas elektron untuk menggambar pro%il permukaan benda. SEM memiliki resolusi "ang lebih tinggi dari pada mikroskop optik. al ini disebabkan oleh pan*ang gelombang de 2roglie "ang dimiliki elektron lebih pendek daripada gelombang optik. Makin ke#il pan*ang gelombang "ang digunakan maka makin tinggi resolusi mikroskop. an*ang gelombang de 2roglie elektron adalah 4h/p 4h/p00 dengan h konstan konstanta ta lan#k dan  p adalah elektron. Momentum elektron dapat ditentukan dari energi kinetik melalui hubungan K  hubungan K  p2 /2m0  /2m0 dengan K dengan K energi kinetik elektron dan m adalah massan"a. $alam $alam SEM berkas berkas elektron elektron keluar keluar dari dari %ilame %ilamen n panas panas

lalu lalu diper# diper#epat epat pada

 potensial tinggi V . kibat per#epatan tersebut0 akhirn"a elekton memiliki energ" kinetik  K eV . $engan $engan demikia demikian n kita kita dapat menulis menulis momentu momentum m dan pan*ang gelombang de 2rogile 4 h6

ele#tron ele#tron sebagai sebagai  p  p

0

0. /mumn"a tegangan "ang

diguna digunakana kanalah lah puluha puluhan n kilovol kilovolt. t. Sebagai Sebagai ilutr ilutrasi asi00 misalk misalkan an SEM dioper dioperasi asikan kan pada pada tegangan 7 k8 maka pan*ang gelombang de 2roglie elektron sekitar 9  17:1 m.

SEM (S#anning Ele#tron Mi#ros#ope) adalah salah satu *enis mikroskop ele#tron "ang menggunakan berkas ele#tron untuk menggambarkan bentuk permukaan dari material "ang dianalisis. C. Prini! #erja SEM

rinsip ker*a SEM adalah menembakkan permukaan benda dengan berkas elektron bernergi tinggi.ermukaan benda "ang dikenai berkas akan memantulkan kembali berkas tersebut atau menghasilkan elektron sekunder ke segala arah. ;etapi ada satu arah di mana berkas dipantulkan dengan intensitas tertinggi. $etektor di dalam SEM mendeteksi elektron "ang dipantulkan dan menentukan lokasi berkas "ang dipantulkan dengan intensitas tertinggi. rah tersebut memberi in%ormasi pro%il permukaan benda seperti seberapa landai dan ke mana arah kemiringan. ada saat dilakukan pengamatan0 lokasi permukaan benda "ang ditembak dengan  berkas elektron di:s#an ke seluruh area daerah pengamatan. Kita dapat membatasi lokasi  pengamatan dengan melakukan